産業ガス
特殊ケミカル・機器・装置
提供会社：エア・ウォーター・メカトロニクス（株）
特殊ケミカル供給装置
エア・ウォーター・メカトロニクス（株）では、特殊ケミカル供給装置を取りそろえております。
特殊ケミカル製造メーカーとして豊富な知識を持つ米国ヴェルサムマテリアルズ社（VM，旧APCI）が製造する高純度ケミカル供給装置（ケムガード）を販売しています。当社では納入、立上げ、メンテナンスの他、お客様のご要望に応じた仕様変更等のトータルサービスを行っています。また、当社設計のオリジナル供給機器についても対応いたします。
製品詳細
エア・ウォーター・メカトロニクスが取り扱う高純度ケミカル供給機器の種類
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・CG100：TEOS，TEB，TEPO他（汎用ケミカル）※標準モデル：VM製 |
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・CG200：BTBAS，BDEAS ※特殊バルブシート材使用：VM製 |
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・CG300：3DMAS他 ※禁水性、腐食性ケミカル対応：VM製 |
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・CG400：TMA他 ※自然発火性ケミカル対応：VM製 |
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・CG500：TEMAHf，Zr材料他 ※ソルベントパージ機能付：VM製 |
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・MOsupply：有機金属他 ※シングルタンク対応：AWIオリジナル |
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・SS8：汎用ケミカル他 ※シングルタンク対応簡易版：AWIオリジナル |
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・PVRefill：POCl3他 ※テフロン仕様、シングルタンク対応：AWIオリジナル |
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・BCD：大容量（200L）TEOS供給：AWIオリジナル |