排ガス処理装置

エア・ウォーター・メカトロニクス（株）では、排ガス処理装置を取りそろえております。

＜排ガス処理装置＞
半導体製造において使用されるガスの多くは、可燃性、自燃性、腐食性、毒性などの特性を持つため、安全かつ確実に無害化処理を行うための排ガス処理装置（除害装置）をご提案します。数多くの実績を有した乾式除害装置を中心に、使用条件に応じた多数の製品を取りそろえています。

＜緊急保安装置＞
毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等（配管、継手、バルブ等）から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。