エア・ウォーター・エンジニアリング（株）では、シリンダーキャビネットを取りそろえております。
特殊ガス供給とコンパクト設計を目的に開発。
容器弁の開閉状態も自動確認方式を採用し、安全に安定供給するためのシステムは全自動化され、配管内体積を最小にすることで継手数削減や、バキュームジェネレーターによるパージアシストで高純度化を実現しています。
シリンダーキャビネットとは、ガスボンベを収納・保管し、特殊ガス、高圧ガスなどを安全・安定に供給する装置・設備です。
半導体・液晶・太陽発電池の生産設備などで利用いただいております。
エア・ウォーター・エンジニアリング（株）では、特殊ガスに合わせて部品選定し且つコンパクトに設計致しました。
シリンダーキャビネットの導入やご検討、ご要望はエア・ウォーター・エンジニアリング（株）までお問合せください。
| VSS-GC① | 材料ガス容器本数(1～6) |
|---|---|
| VSS-GC② | 供給系列(1～2) |
| VSS-GC③ | O:高圧気密容器･パージ容器なし H:高圧気密容器あり N:高圧気密･パージ容器あり |
| VSS-GC④ | A:配管非研磨仕様 S:配管研磨仕様 US:配管研磨+ブロック弁仕様 |
| VSS-GC⑤ | 無記入:ステンレス仕様 C:ハステロイ仕様 |
半導体・液晶・太陽電池生産設備向け特殊ガス供給設備
さらに使いやすく見やすくなったタッチパネル
VSS-GC □ □ □ - □ □
(1)(2)(3) -(4)(5)
(1) 材料ガス容器本数
(2) 供給系列
(3) O:高圧気密、パージ容器無
H:高圧気密容器有
N:高圧気密、パージ容器有
(4) A:配管非研磨仕様
S:配管研磨仕様
US:配管研磨＋ブロック仕様
(5) 無記入:ステンレス仕様
C:ハステロイ仕様