ガス製造プラント

高効率小型液化酸素・窒素製造装置「VSU」

エア・ウォーター（株）では、高効率小型液化酸素・窒素製造装置を提供しております。

地域産業への安定供給と環境貢献を同時に実現した革新的な産業ガス供給技術

高効率小型液化酸素・窒素製造装置「VSU」は、お客様が立地する地域の近隣に設置することで、「安定供給」「省エネ」「CO2排出量低減」を同時に実現した、当社独自の地域液化ガスプラントです。
従来の産業ガス供給は、大型プラントで大量集中生産し、全国各地の需要地までタンクローリーで長距離輸送するという方式が一般的でした。しかし、当社では、大型プラント並みのエネルギー効率（※）を誇るVSUの技術開発により、ガス需要地に近い生産拠点から近距離輸送するという新しい供給モデルを確立しました。
このVSUは、各地域の有力な産業ガスサプライヤーを企業パートナーとすることによって、当社がこれまで持たなかった新しい供給ネットワークを構築しています。現在は、北海道から九州まで全国19拠点が稼働しており、設置エリアのさらなる拡大をめざしています。
※製造電力コスト、輸送・車両コストなどを含めたビジネスモデル比較

• 特長
  小型のプラントで、高効率な液化ガスの生産を実現
  ●「高効率タービン」「真空断熱方式」など独自技術の採用によって、消費電力量の大幅削減を実現
  
  需要近郊での生産による安定供給
  ●病院向け医療用ガスなど、地域ガス需要にきめ細かな対応
  ●災害時などの緊急時にも万全のバックアップ体制
  
  輸送距離の大幅削減による物流合理化・環境改善効果
  ●輸送に伴うCO2排出量の削減
  ●配送車両の投資抑制による省エネ・環境負荷低減
  
  地域の有力な産業ガスサプライヤーとのパートナーシップ
  ●地域の産業や需要構造を熟知した地元企業との合弁による新しいビジネスモデルの創造
  
  供給イメージ
  VSUが発揮する最大のメリットは、大型プラントによる供給に比べて、お客様（需要地）までの輸送距離を大幅に短縮できる点にあります。これにより、地域のお客様への安定供給のお約束はもちろん、緊急災害時におけるガス供給ルートの分断リスクなども大幅に低減することができます。また、ガスの充填所が併設されている場合は、液化ガスからシリンダーまで幅広くガス供給を行うことができます。
  
  従来の供給方法（大型オンサイトによる長距離輸送）
  
  従来の供給方法
  新しい供給方法（VSUによる近距離輸送）
  
  新しい供給方法
  VSUの稼働によるタンクローリー輸送距離の削減例
  VSUの設置により、各地域の需要に応じた産業ガスの安定的な供給と、タンクローリーによる輸送距離の削減および輸送コストの低減が可能となります。例えば、東海地方における輸送の場合、従来は大阪府の大型プラントからタンクローリーで長距離輸送していましたが、愛知県にVSUを設置したところ、以下のような削減効果が生まれています。
  さらに、CO2の削減にも寄与することから、その革新的なビジネスモデルは、平成20年度資源エネルギー庁長官賞を受賞しました。
  
  VSUの稼働によるタンクローリー輸送距離の削減例
  災害に強い供給ネットワークの実現
  地域分散型の産業ガス供給ネットワークは、地震をはじめとした災害時におけるガス供給の際にも力を発揮します。
  東日本大震災では、マグニチュード9.0の地震と大津波によって、関東や東北の複数の液化ガスプラントが設備破損や停電などの影響で停止し、各地の多くのガス充填工場も機能が止まる事態になりました。
  その際、新潟のVSU（新潟液酸）が東北へガス供給の前線基地となり、被災地までピストン輸送を行うとともに、長野のVSU（しなの液酸）が新潟へのガス供給をバックアップ、さらに、相模原や静岡のVSUからは関東甲信越全域へのガス供給を行いました。
  1ヶ所の大型工場において産業ガスを大量生産するのではなく、生産拠点を分散化することで、お客様への影響を最小限に食い止めることができました。
  産業のライフラインとしての役割に加え、医療機関への医療用ガスの安定供給といった社会基盤にも貢献しています。
  
  VSUネットワークによる緊急ガス供給ルート
  
  VSUネットワークによる緊急ガス供給ルート
  VSU設置拠点
  VSU（液化酸素・液化窒素生産タイプ）
  
  事業会社名
  
  設置場所
  
  種類
  
  生産能力（Nm3/h）
  
  稼働開始
  
  新潟液酸（株）
  
  新潟県阿賀野市
  
  LO
  
  600
  
  2004年4月
  
  LN
  
  1,400
  
  熊本液酸（株）
  
  熊本県宇土市
  
  LO
  
  700
  
  2005年10月
  
  LN
  
  1,600
  
  三国液酸（株）
  
  福井県坂井市
  
  LO
  
  600
  
  2006年4月
  
  LN
  
  1,400
  
  東海液酸（株）
  
  愛知県海部郡
  
  LO
  
  700
  
  2007年4月
  
  LN
  
  1,600
  
  福島液酸（株）
  
  福島県本宮市
  
  LO
  
  600
  
  2008年4月
  
  LN
  
  1,400
  
  相模原液酸（株）
  
  神奈川県相模原市
  
  LO
  
  700
  
  2008年4月
  
  LN
  
  1,600
  
  松山酸素（株）
  
  愛媛県松山市
  
  LO
  
  700
  
  2008年10月
  
  LN
  
  700
  
  静岡液酸（株）
  
  静岡県富士市
  
  LO
  
  600
  
  2009年4月
  
  LN
  
  1,400
  
  しなの液酸（株）
  
  長野県松本市
  
  LO
  
  600
  
  2011年4月
  
  LN
  
  1,400
  
  エア・ウォーター（株）防府工場
  
  山口県防府市
  
  LO
  
  600
  
  2013年9月
  
  LN
  
  1,400
  
  苫小牧共同酸素（株）
  
  北海道苫小牧市
  
  LO
  
  1,800
  
  2015年3月
  
  LN
  
  4,000
  
  長崎液酸（株）
  
  長崎県諫早市
  
  LO
  
  600
  
  2016年7月
  
  LN
  
  1,400
  
  岩手液酸（株）
  
  岩手県紫波郡
  
  LO
  
  600
  
  2018年10月
  
  LN
  
  1,400
  
  福山液酸（株）
  
  広島県福山市
  
  LO
  
  700
  
  2019年4月
  
  LN
  
  1,600
  
  讃岐液酸（株）
  
  香川県坂出市
  
  LO
  
  700
  
  2019年5月
  
  LN
  
  700
  
  山形液酸（株）
  
  山形県寒河江市
  
  LO
  
  600
  
  2020年6月
  
  LN
  
  1,400
  
  北九州液酸（株）
  
  福岡県北九州市
  
  LO
  
  600
  
  2021年6月
  
  LN
  
  1,400
  
  亀山液酸（株）
  
  三重県亀山市
  
  LO
  
  1,000
  
  2022年6月
  
  LN
  
  2,660
  
  千葉液酸（株）
  
  千葉県千葉市
  
  LO
  
  1,000
  
  2022年11月
  
  LN
  
  2,600
  
  VSUA（液化アルゴン併産タイプ）
  
  事業会社名
  
  設置場所
  
  種類
  
  生産能力（Nm3/h）
  
  稼働開始
  
  夜間・休日
  
  平日昼間
  
  エア・ウォーター（株）枚方工場
  
  大阪府枚方市
  
  GO
  
  3,000※
  
  0
  
  2012年4月
  
  LO
  
  0
  
  1,000
  
  LN
  
  2,350
  
  1,090
  
  LAr
  
  110
  
  九州工業ガス（株）
  
  福岡県大牟田市
  
  GO
  
  2,400
  
  2017年1月
  
  GN
  
  2,400
  
  LO
  
  600
  
  LN
  
  1,650
  
  LAr
  
  110
  
  エア・ウォーター（株）宇都宮工場
  
  栃木県宇都宮市
  
  GO
  
  1,500
  
  2017年11月
  
  GN
  
  3,000
  
  LO
  
  2,100
  
  LN
  
  5,000
  
  LAr
  
  150
  
  ※夜間・休日は、隣接する製鉄所にオンサイト酸素供給を行います
• ガス製造プラント
  提供会社：エア・ウォーター（株）

高純度窒素ガス発生装置「V1」

エア・ウォーター（株）では、高純度窒素ガス発生装置を提供しております。

日本のエレクトロニクス産業とともに歩んだ革新的な窒素ガス供給技術

高純度窒素ガス発生装置「V1」は、液化窒素の冷熱を利用した熱交換により高純度窒素ガスを安定的に発生させる、当社独自の窒素ガス発生装置です。半導体や液晶パネルなどのエレクトロニクス製造ラインでは、雰囲気ガス用途をはじめとして超高純度の窒素ガスが大量に使用されます。そのため、低コストで窒素ガスを安定供給する方法として、現在このオンサイト方式による窒素ガス供給が最も一般的な供給モデルとなっています。
当社では、お客様の使用条件に適した流量の窒素ガス発生装置の開発・設計からアフターメンテナンス、さらには液化窒素ローリーによるバックアップ供給まで、一貫したソリューションサービスを展開しています。

• 特長
  低コストかつ高純度の窒素ガスを安定供給
  ・オンサイト方式のため、液化窒素ローリー供給に比べて低コストかつ高純度な窒素ガスの安定供給が可能
  
  ノンタービン方式
  ・液化窒素の冷熱を利用した熱交換方式のため、膨張タービン方式に比べて装置トラブルが少ない
  
  ノンフロンタイプ
  ・冷却・吸着・熱交換の新システムの採用によりフロン冷凍機のない設備
  
  短期工事にも対応
  ・使用環境に最適なコンパクト設計のため、設置工事も短期間
  
  設置実績・用途例
  設置実績
  高純度窒素ガス発生装置「V1」は、1983年にエア・ウォーターが国内で初めて独自開発に成功しました。
  その後、半導体メーカーで1号機が稼働をスタートして以来、液化窒素ローリー供給に代わる画期的なガス供給方法として採用が広がり、現在、国内のエレクトロニクス工場を中心に100基以上の設置実績を有しています。
  
  用途例
  ・半導体、液晶・プラズマディスプレイ、太陽電池などエレクトロニクス製造プロセス
  ・シリコン、繊維、薬品、鋼板、その他研究機関など
  
  装置ラインアップ
  省エネ・低コストを追求した超小型タイプ「V1X」から、大規模工場に対応した大型タイプ「V1D」まで、幅広いユーザーニーズに対応が可能な「V1」シリーズをラインアップしています。
  
  名称 装置タイプ 生産量 純度
  V1X 小型窒素ガス発生タイプ GN 150 ～ 2,350 Nm3/h 99.99 ～ 99.9999 ％
  V1XT 液化窒素製造タイプ 別途ご相談ください
  V1E 中型窒素ガス発生タイプ GN 2,800 ～ 3,600 Nm3/h 99.99 ～ 99.9999 ％
  V1D 大型窒素ガス発生タイプ GN 3,000 ～15,000 Nm3/h 99.99 ～ 99.9999 ％
  V1DT 大型窒素ガス発生タイプ
  （少量液化窒素併産型） GN 4,000 ～ 35,000 Nm3/h 99.99 ～ 99.9999 ％
  LN 20 ～ 150 Nm3/h 99.99 ～ 99.9999 ％
  V1DP 大型窒素ガス発生タイプ
  （少量酸素ガス併産型） GN 4,000 ～ 35,000 Nm3/h 99.99 ～ 99.9999 ％
  GO 50 ～ 300 Nm3/h 90 ～ 99.8 ％
  システムフロー
  システムフロー図
  
• ガス製造プラント
  提供会社：エア・ウォーター（株）

酸素ガス発生装置「Ｖ２」／ 窒素ガス・酸素ガス発生装置「Ｖ３」

エア・ウォーター（株）では、酸素ガス発生装置、窒素ガス・酸素ガス発生装置を提供しております。

「V1」の革新技術を進化させた大型のガス発生装置

酸素ガス発生装置「V2」と高純度窒素ガス・酸素ガス発生装置「V3」は、高純度窒素ガス発生装置「V1」の技術を進化させたガス発生装置です。「V1」の機能・特長をそのままに、「高効率運転」「ノンタービン」「ノンフロン」「低コスト・低メンテナンス」「環境負荷低減」「運転管理の簡素化」を実現しています。高純度から低純度まで、お客様の使用環境にマッチした窒素ガス・酸素ガスの供給設計が可能であり、鉄鋼、化学、ガラスを中心とした幅広いユーザープロセスでの適用が可能です。
当社では、お客様の使用条件に適した流量のガス発生装置の開発・設計からアフターメンテナンス、さらには有事に備えた液化窒素・液化酸素ローリーによるバックアップ供給まで、一貫したソリューションサービスを展開しています。

• 設置実績・用途例
  設置実績
  酸素ガス発生装置「V2」および高純度窒素ガス・酸素ガス発生装置「V3」は、それぞれ2004年から稼働を開始しました。
  高純度から低純度まで、ユーザーニーズに応じた窒素ガス・酸素ガス発生量の供給設計が可能で、主に大規模工場向けを中心として、国内で10基以上の設置実績を有しています。
  
  用途例
  ・製鉄所の製鋼工程やガラス溶融炉
  ・可燃性物質の窒素置換（防爆）が必要な化学工場
  
  装置ラインアップ
  酸素ガス専用型、ならびに窒素ガス・酸素ガス併産型をそれぞれラインアップしています。
  
  名称 装置タイプ 生産量 純度
  V2 酸素ガス発生タイプ GO 300 ～ Nm3/h 90 ～ 99.8 ％
  V3 窒素ガス・酸素ガス発生タイプ GN 300 ～ Nm3/h 99 ～ 99.9999 ％
  GO 300 ～ Nm3/h 90 ～ 99.8 ％
  システムフロー
  酸素ガス発生装置「V2」
  
  
  窒素ガス・酸素ガス発生装置「V3」
  
  
  
• ガス製造プラント
  提供会社：エア・ウォーター（株）

PSA式酸素ガス発生装置「VPシステム」

エア・ウォーター（株）では、酸素ガス発生装置を取りそろえております。

電炉・ガラス・紙パルプに最適な酸素ガス供給システム

PSA式酸素ガス発生装置「VPシステム」は、窒素を優先的に吸着する高性能MSZ（モレキュラー・シーブス・ゼオライト）を吸着剤に採用した、PVSA（真空再生）方式の酸素ガス発生装置です。

この「VPシステム」は、液化酸素のバックアップ供給を組み合わせた「ガストータルシステム」により、ユーザーニーズにフレキシブルに対応しながら、安定的に酸素ガスを供給することが可能です。主に電炉や紙・パルプ、ガラスなど、高純度酸素を要しない製造プロセス向けに適したオンサイト方式のガス発生装置となっています。

• 特長
  真空再生方式（PVSA方式）による高収率
  ・常温下における高い運転操作性と、酸素ガス純度維持の両立を実現
  
  
  
  ガストータルシステム提案
  ・液化酸素のバックアップ供給を組み合わせることで、最適な酸素ガス供給形態を実現
  
  
  
  高圧ガス保安法の適用対象外
  ・常温でガス分離を行うため、1MPa未満で酸素ガス製造を行うことが可能
  
  用途例
  ・電炉の製鋼プロセス
  ・精錬プロセス
  ・ガラス溶融などの酸素燃焼炉
  ・上下水排水処理
  ・紙・パルプ漂白プロセスにおけるオゾン発生
  ・ゴミ焼却炉
  
  仕様
  装置ラインアップ
  VPシステム（大型2塔式）
  
  名称 発生量 純度
  VP 200 ～ 4,000 Nm3/h 93 ％
  VPSシステム（小型1塔式）
  
  名称 発生量 純度 重量
  VPS-25 25 Nm3/h 90 ％ 4,000 kg
  VPS-50 50 Nm3/h 6,000 kg
  VPS-100 100 Nm3/h 9,000 kg
  システムフロー
  VPシステム
  
  
  VPSシステム
  
  
• ガス製造プラント
  提供会社：エア・ウォーター（株）

水素ガス発生装置「VHR」

エア・ウォーター（株）では、新型水素ガス発生装置を提供しております。

世界最高水準の発生効率と環境負荷低減を実現

水素ガス発生装置「VHR」は、天然ガスを主原料として、ランニングコスト・環境負荷低減をコンセプトにした水素発生装置です。当社が独自に開発した改質器の採用により均一かつ高効率な改質反応を可能にしたとともに、熱回収プロセスの最適化を行い熱の利用効率を高め、当社のこれまでの水素精製技術を集結させた結果、当社従来装置「VH」と比較して、ランニングコストの低減と10％のCO2排出量削減（消費電力の削減効果も含む）を達成しています。

• 特徴
  ・天然ガス水蒸気改質による水素ガス発生
  ・高温プロセスを集約させた独自の革新的な改質器構造を採用
  ・複数の熱交換器の採用、吸着塔オフガスの再利用による徹底した熱回収プロセス
  ・水素精製にPVSA（真空再生方式）を採用し、高い水素回収率を実現
  ・メンテナンスを考慮した設備構成
  
  装置ラインナップ
  形式 VHR-100N VHR-200N VHR-300N VHR-400N
  発生量
  （稼働範囲） 100Nm3/hr
  (40~100) 200Nm3/hr
  (80~200) 300Nm3/hr
  (120~300) 400Nm3/hr
  (160~400)
  製品制度 99～99.999％以上、露点-70℃以下
  ユーティリティ条件
  ユーティリティ 条件 圧力
  天然ガス 13 A, LNG 0.03 MPa ～ 0.99 MPa
  上水 飲料水程度 0.2 MPa以上
  電力 AC200/400 V（50/60 Hz） -
  冷却水 5 ～ 32℃ 0.2 ～ 0.3 MPa
  計装空気 露点－20℃ 0.5 ～ 0.7 MPa
  窒素 - 0.7MPaG以上
  ※装置の定格流量等の仕様は、お客様の必要条件に応じてアレンジすることができます
  
  システムフロー
  システムフロー
  エア・ウォーターグループの技術優位性
  革新的な改質器構造
  水蒸気改質反応に必要な熱はバーナー燃焼により与えられます。改質器は、複数のバーナーから複数の管（改質管）に熱を与える独自構造を採用しており、高い改質効率を達成しています。得られた改質ガスは改質管内で原料ガスと熱交換を行っており、触媒に必要な熱を自己ガスで一部補うことで、バーナーに使用する燃料天然ガスの消費量の削減を行っています。加えて、水蒸気改質反応に寄与する高温部の多くを改質器内に集約した「ホットボックス構造」としており、熱効率を飛躍的に向上させています。
  
  革新的な改質器構造
  水素のバックアップ供給体制について
  エア・ウォーターグループでは、国内9ヶ所のオンサイト水素ガス供給拠点と、11ヶ所の圧縮水素製造拠点を有し、ユーザーへ水素ガスを供給している国内屈指の水素メーカーです。シリンダー・カードルからトレーラー、オンサイト供給まで、お客様の使用量や立地に応じた最適な供給形態で、製造から輸送・販売まで安定・安全に一貫責任体制で水素供給をサポートしています。
  
  製品・サービスのお問い合わせ
  
• ガス製造プラント
  提供会社：エア・ウォーター（株）