エア・ウォーター・メカトロニクス(株)では、その他ガス関連機器を取りそろえております。
<パイオファインカートリッジ MODEL-PF>
独自に開発した触媒により、各種半導体用ガス精製に優れた性能を発揮します。精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を実現、よりユースポイント近くでの精製が可能です。
・パイオファインカートリッジ MODEL-PF
・マスフローコントローラ Z500 series
・多成分ガス混合装置 MU3000シリーズ (MU3000シリーズ)
・VGシリーズ キャパシタンスマノメータ(VGシリーズ)