酸化エチレン滅菌ガス（C₂H₄O＋CO₂）

酸化エチレン滅菌ガスは、比較的低い温度でも極めて強い殺菌力を発揮し、金属・非金属の区別なく利用できるため理想的な滅菌法として普及しています。
酸化エチレンは燃焼範囲が広く、燃焼爆発する性質を有しているため二酸化炭素を混合することで、より安全に取り扱えるようにしたものが酸化エチレン滅菌ガス「ダイサイド」です。
酸化エチレンは強い毒性を有するため、特定化学物質に指定されており、使用施設では作業環境測定等が必要となります。