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産業ガス

装置・機器・資材
提供会社:日本パイオニクス(株)

その他ガス関連機器

日本パイオニクス(株)では、その他ガス関連機器を取りそろえております。

<パイオファインカートリッジ MODEL-PF>
独自に開発した触媒により、各種半導体用ガス精製に優れた性能を発揮します。精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を実現、よりユースポイント近くでの精製が可能です。

<ラインフィルター XLFM 0.01μm対応小型テフロンメンブラン>
ラインフィルター ULFB06 0.09μm対応汎用小型テフロンメンブラン
本フィルターは半導体用ガスフィルターとして、当社がクリーンガス供給システムに関する技術を基に開発した、高性能なインラインガスフィルターです。

詳細は各社ホームページをご覧ください。
日本パイオニクス_その他ガス関連機器

 

製品一覧

・パイオファインカートリッジ MODEL-PF
・ラインフィルター XLFM 0.01μm対応小型テフロンメンブラン
・ラインフィルター ULFB06 0.09μm対応汎用小型テフロンメンブラン
・マスフローコントローラ Z500 series 
・多成分ガス混合装置 MU3000シリーズ (MU3000シリーズ)
・VGシリーズ キャパシタンスマノメータ(VGシリーズ)

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