産業ガス
特殊ケミカル・機器・装置
提供会社：エア・ウォーター（株）
材料・プロセス開発
エア・ウォーター（株）では、新規プロセス開発関連サービスを提供しております。
開発向け成膜装置（ALD、CVD装置など）や分析機器(XRR、SEMなど)を保有し、新規特殊ケミカルなどの開発、材料スクリーニングを実施しています。これら設備と長年培ってきた成膜技術で受託成膜やプロセス評価検討などの開発サポートも積極的に行っています。
製品詳細
開発向け成膜装置（ALD、CVD装置など）や分析機器(XRR、SEMなど)を保有し、新規特殊ケミカルなどの開発、材料スクリーニングを実施しています。これら設備と長年培ってきた成膜技術で受託成膜やプロセス評価検討などの開発サポートも積極的に行っています。
成膜とは
成膜とは、対象物に対して、特定の材料などを用いて、非常に薄い膜を形成することを指します。
この非常に薄い膜を作る薄膜形成方法には、 「ALD（原子層堆積法）」や「CVD（化学気相成長法）」など様々あります。