産業ガス
特殊ケミカル・機器・装置
提供会社:エア・ウォーター・エレクトロニクス(株)
シリコン半導体成膜素材
エア・ウォーター・エレクトロニクス(株)では、シリコン半導体製品を取りそろえております。
当社は20年以上かけて築いた世界中の特殊ケミカルメーカーとの関係により、様々なプロセス材料を取り扱っております。
製品詳細
シリコン半導体
シリコン半導体の前工程(洗浄や成膜など)に用いられる特殊ケミカルの輸入・販売を行っています。20社以上の半導体メーカーへの供給実績があり、高品質な材料を安定供給しています。量産用の材料から次世代に向けた開発用の最先端材料まで、幅広く取りそろえています。
ヴェルサムマテリアルズ(旧名エア・プロダクツ)製品
半導体プロセスについて豊富な知識を活かして特殊材料を展開しているヴェルサムマテリアル社の特殊ケミカルは、半導体製造におけるさまざまなプロセスに不可欠な製品として、世界各地の半導体工場で使用されています。ドーピングに使用されるオキシ塩化リン(POCL3)などをはじめ、様々なプロセスで使用される最先端の特殊ケミカルを幅広く取りそろえています。
取り扱う製品の種類
・TransLC® |
・ビスタ-シャルブチルアミノシラン(BTBAS) |
・テトラキスジメチルアミノチタン(TDMAT) |
・トリメチルシラン |
・テトラメチルシラン |
・ターシャリーブチルイミドトリス(エチルメチルアミノ)タンタル (TBTEMT) |
・α-テルピネン(ATRP) |
・ジエトキシメチルシラン(DEMS) |