日本電熱（株）では、半導体・FPD向けヒーターを提供しております。

＜ホットプレート（液晶用基板・シリコンウェハー等の加熱）＞
液晶・半導体の製造工程での加熱。全てオーダーメイドにて製作対応
温度の均一性に優れ、高精度な平面度や加工が可能です。
液晶、半導体工程における加熱、冷却にご活用いただき、高い評価をいただいております。
真空下でのご使用可能な製品についても対応いたします。
また、クーリングプレートと組み合わせて、加熱と冷却の機能を持たせたホットプレートの製作も実績があります。
※ホットプレートは全てオーダーメイドにて設計・製作対応いたします。

＜クーリングプレート（液晶用基板・シリコンウェハー等の冷却）＞
寸法精度の高い冷却プレート（クーリングプレート）の製作が可能です。
ステンレスパイプのカシメ方式や流路を加工した接合方式等をご提案いたします。