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製品紹介

リモート型 プラズマ表面処理装置

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リモート型
プラズマ表面処理装置

平行平板電極間で放電を発生させガスの流れによって下の基板に吹き付けることにより、瞬時に表面の汚れや残渣を除去。

装置画像

装置画像

リモート型 プラズマ
表面処理装置の用途

フィルムや基板の濡れ性改善、接着性改善

基板

ガラス、金属、回路基板の洗浄

回路基板

リモート型 プラズ
マ表面処理装置の特長

特長01

窒素を使用

特長02

メンテナンスフリー

特長03

ダメージフリー

特長04

大型化対応(〜2500mm)

特長05

インライン

特長06

高速洗浄

リモート型
プラズマ表面処理装置の適用例

代表的な適用例 : めっき処理

表面処理画像

その他の適用例

  • めっき信頼性の改善
  • 電子部品のボンディング前洗浄
  • 液晶、ガラスへのレジスト塗布前処理
  • マイクロ構造体への液浸透性改善
  • 炭素繊維の親水処理
  • 樹脂の接着性改善

装置仕様

放電ユニットサイズ 最大 L2500×300×300mm
照射幅 200〜2500mm
処理面 片面
ガス種 窒素、酸素、アルゴン、その他ガス多数
ユーティリティ 高圧電源、制御装置、冷却水、排ガス設備 他

リモート型 プラズマ表面処理装置例

装置例01

開発試験用①

装置画像

開発試験用に使用する装置です。
使用状況に合わせてカスタマイズ可能です。

装置画像

開発試験用に使用する装置です。
使用状況に合わせてカスタマイズ可能です。

装置例02

開発試験用②

装置画像

開発試験用に使用する可搬式の装置です。

装置画像

開発試験用に使用する可搬式の装置です。

装置例03

コロ搬送式

装置画像

基板処理向けのコロ搬送機付き装置です。
・液晶ディスプレイやガラス基板向け

装置画像

基板処理向けのコロ搬送機付き装置です。
・液晶ディスプレイやガラス基板向け

他装置との比較表

装置 リモート型 ダイレクト型 チューブ型
用途 ・ガラス、金属等の基板洗浄
・樹脂材の濡れ性改善、接着
 性改善
・フィルムの濡れ性改善、
 接着性改善
・ガラス基板の洗浄
・チューブの濡れ性改善、
 接着性改善
適用例 ・液晶、PDPガラスのレジス
 ト塗布前洗浄
・電子部品のボンディング前
 洗浄
・樹脂成形体の接着性改善処理
・フレキシブル回路基板(FPC)
 用ポリイミドの銅箔接着前
 処理
・液晶ディスプレイ用光学
 フィルムの塗工前処理
・太陽電池モジュール裏面シー
 トの接着前処理
・カテーテル外面の親水処理
・点滴用チューブ内面の気泡付
 着防止処理
・プリンタローラー用チューブ
 内面の接着前処理
プロセス
ガス
・窒素
・アルゴン
・酸素
・その他ガス
・窒素
・アルゴン
・ヘリウム
・酸素
・その他ガス多数
・アルゴン
・ヘリウム
・酸素
・その他ガス多数

サンプルテスト

最適ガス種、ガス供給、排ガス処理を含めた
トータルシステムの提案をいたします。

設備 設備

よくある質問

Q大気圧プラズマ表面改質の原理はどのようなものですか?

A

プラズマによって発生する酸素ラジカル等の活性種が、対象物と反応することで表面改質されます。
⭕️有機物の洗浄原理
汚れ成分(炭化水素等の有機物)に酸素ラジカルが反応することで、有機物を分解しCO2などの形で表面から除去されます。
⭕️親水化の原理
樹脂のC-H結合と反応し、-OHやCOOH等の親水性官能基を増やすことで、親水性を向上させます。

Qサンプルテストは可能ですか?

A

大阪府の堺市、神奈川県の平塚市にサンプルテスト用のデモルームを保有しています。
サンプルを送付頂き当社で処理、もしくはサンプルを持ち込み頂きお立会での処理も可能です。

Q受託処理は可能ですか?

A

フィルムの受託処理が可能です。装置仕様は以下の通りです。
・装置:RtoR式ダイレクト型装置
・処理幅:1250mm
・フィルム厚み:15~125μm
・処理面:両面

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